Impact of metal gate electrodes on electrical properties of InGaAs MOS gate stacks

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DOI：
10.1016/j.mee.2013.03.086
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发表时间：
2013-02
期刊：
The Japan Society of Applied Physics
影响因子：
--
通讯作者：
Chih-Yu Chang
Chih-Yu Chang
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
Chih-Yu Chang

文献摘要

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