集束イオンビーム装置で加工したSi基板上へのInSb量子ドット作製

集束イオンビーム装置で加工したSi基板上へのInSb量子ドット作製
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使用聚焦离子束装置在硅基板上制造 InSb 量子点

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
第3回工業技術研究所講演会予稿集 2004年2月26日、東洋大学
影响因子:
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通讯作者:
花尻達郎
花尻達郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
石塚雅朗;和田昇;中島義賢;花尻達郎

文献摘要

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