Investigation of Plasma Paramclers in a VHF Plasma with Narrow Gapunder High Gaseous Pressure
Investigation of Plasma Paramclers in a VHF Plasma with Narrow Gapunder High Gaseous Pressure
复制标题
高气压下窄间隙甚高频等离子体中等离子体参数的研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Takatsuka. Y. Kawai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H Muta;S;Kishida;M. Tanaka;Y. Yamauchi;T. Baba. Y. Takcuchi;H. Takatsuka. Y. Kawai
