Passivation of Cu via refractory metal nitridation in an ammonia ambient
Passivation of Cu via refractory metal nitridation in an ammonia ambient
复制标题
在氨环境中通过难熔金属氮化钝化 Cu
DOI：
10.1016/0040-6090(94)05805-9
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发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
J. Mayer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Adams;T. Alford;N. Theodore;S. W. Russell;R. L. Spreitzera;J. Mayer
