RFプラズマによる新しい窒化処理法の開発
RFプラズマによる新しい窒化処理法の開発
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利用射频等离子体开发新的渗氮方法
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
城所裕真，宮本潤示
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西尾 将裕，南部 紘一郎，宮本 潤示，奥宮 正洋;山根 和也，横井 佑太，宮本 潤示;田中 隆太郎，宮本 潤示;Ryutaro TANAKA，Junji MIYAMOTO;城所裕真，宮本潤示;宮本潤示;宮本潤示;田中 隆太郎，宮本 潤示;城所裕真，宮本潤示
