甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
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通讯作者：
习复
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈永明;彭良强;陈传福;伊福廷;习复
