磁歪材料ハイスループット評価用MEMS集積化ライブラリ製作(評価基板におけるめっき膜厚の均一化)
磁歪材料ハイスループット評価用MEMS集積化ライブラリ製作(評価基板におけるめっき膜厚の均一化)
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磁致伸缩材料高通量评价用MEMS综合库的制作（评价基板的镀膜厚度均匀）
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林義典，本川侑季，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Nakagawa;Kyohei Yamada;Mizue Mizoshiri;Chiemi Oka;Junpei Sakurai;Seiichi Hata;橋本英明，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一;小林義典，本川侑季，前谷卓也，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
