Cu-CMP with Ultraviolet light irradiation in deionized water
Cu-CMP with Ultraviolet light irradiation in deionized water
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去离子水中紫外光照射的 Cu-CMP
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Nobutaka Sumomoai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Panart Khajornrungruang;Keiichi Kimura;Nobutaka Sumomoai
