有限要素法を用いた多結晶薄膜の熱残留応力の評価
有限要素法を用いた多結晶薄膜の熱残留応力の評価
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用有限元法评估多晶薄膜的热残余应力
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他4名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
來海博央;他4名
