電子線照射によるシリコン酸化膜の還元に伴う表面変形
電子線照射によるシリコン酸化膜の還元に伴う表面変形
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通过电子束照射使氧化硅膜还原而导致表面变形
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
遠田 義晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋元恭汰;藤森敬典;遠田 義晴
