トリクロロエチレンによる有機SiガスAPCVD低温酸化Si膜中の残留OH量減少の効果
トリクロロエチレンによる有機SiガスAPCVD低温酸化Si膜中の残留OH量減少の効果
复制标题
三氯乙烯对减少有机硅气体APCVD低温氧化硅膜中残留OH的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Jain Puneet
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
堀田 將;Jain Puneet
