モノライクシリコンにおける不純物の粒界偏析
モノライクシリコンにおける不純物の粒界偏析
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单晶硅中杂质的晶界偏析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹田清治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大野裕;沓掛健太朗;出浦桃子;米永一郎;清水康雄;井上耕治;海老澤直樹;永井康介;吉田秀人;竹田清治
