フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第7報) -フォトニックナノジェットの強度分布制御に基づいた加工制御-
フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第7報) -フォトニックナノジェットの強度分布制御に基づいた加工制御-
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利用光子纳米喷射进行微加工的研究（第七次报告） - 基于光子纳米喷射的强度分布控制的加工控制 -
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高谷裕浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上野原努;水谷康弘;高谷裕浩
