SiN/SiC 積層薄膜の創製とその自己き裂治癒能力
SiN/SiC 積層薄膜の創製とその自己き裂治癒能力
复制标题
SiN/SiC多层薄膜的制备及其自裂纹愈合能力
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
西村淳樹,中谷正憲,花木聡,内田仁
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Nakatani;J. Nishimura;S. Hanaki;H. Uchida;西村淳樹,中谷正憲,花木聡,内田仁
