Effects of Carbon Contaminations on Electron-Induced Degradation of SiO2
Effects of Carbon Contaminations on Electron-Induced Degradation of SiO2
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碳污染对 SiO2 电子诱导降解的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Takai and S. Tanuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Nagatomi;H. Nakamura;Y. Takai and S. Tanuma
