G.P.Li,L.Guo,T.Katoh,Y.Nagamune,S.Fukatsu,Y.Shiraki and R.Ito: "Fabrication of GaAs Ultrafine gratings by SingleーLayerーMasked SiCl_4 Reactive Ion Etching" Jpn.J.Appl.Phys.29. L1213-L1216 (1990)
G.P.Li,L.Guo,T.Katoh,Y.Nagamune,S.Fukatsu,Y.Shiraki and R.Ito: "Fabrication of GaAs Ultrafine gratings by SingleーLayerーMasked SiCl_4 Reactive Ion Etching" Jpn.J.Appl.Phys.29. L1213-L1216 (1990)
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G.P.Li、L.Guo、T.Katoh、Y.Nagamune、S.Fukatsu、Y.Shiraki 和 R.Ito：“通过单层掩模 SiCl_4 反应离子刻蚀制备 GaAs 超细光栅” Jpn.J.Appl。物理.29。L1213-L1216（1990）
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