A Precise Forming System for Fabrication of Micro Metallic Devices
A Precise Forming System for Fabrication of Micro Metallic Devices
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用于制造微型金属器件的精密成型系统
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Yang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Matsuda;Y.Nakakubo;M.Kamei;Y.Takao;K.Eriguchi;K.Ono;M. Yang
