大気圧空気中でのN_2OのArFエキシマーレーザー光分解による処理過程に関する研究"
大気圧空気中でのN_2OのArFエキシマーレーザー光分解による処理過程に関する研究"
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《大气中ArF准分子激光光解处理N_2O过程研究》
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊谷 淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
辻 正治;辻 剛志;熊谷 淳
