2軸制御研磨装置と小径ポリッシャーを用いた研磨プロセスの見える化による3D研磨のメカニズム考察
2軸制御研磨装置と小径ポリッシャーを用いた研磨プロセスの見える化による3D研磨のメカニズム考察
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使用2轴控制抛光装置和小直径抛光机将抛光过程可视化的3D抛光机制
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永 均
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chenxue Wang;Tomohiro Sasaki;Atsutoshi Hirao;辻田容希，谷貴幸，後藤啓光，平尾篤利，毛利尚武;平尾篤利，辻田容希，後藤啓光，谷貴幸;齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永 均
