MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発
MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発
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开发用于MEMS难去除高分子材料高速去除的蒸汽臭氧蚀刻设备
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原島卓也;吉田慎哉;江刺正喜;田中秀治
