直動転がり案内を用いた超精密位置決めに関する研究
直動転がり案内を用いた超精密位置決めに関する研究
复制标题
直线滚动导轨超精密定位研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
田中淑晴
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Tanaka;J. Otsuka;I. Masuda;Y. Aoyama and A. Inagaki;Tetsuya Akagi;田中淑晴;Shujiro Dohta(Tetsuya Akagi);田中淑晴;上田宗史(赤木徹也);田中淑晴
