ＳＯＩウエハの内向面へのエレクトレット形成とＭＥＭＳ静電アクチュエータ利用
ＳＯＩウエハの内向面へのエレクトレット形成とＭＥＭＳ静電アクチュエータ利用
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SOI晶片内表面的驻极体形成及MEMS静电致动器的使用
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
年吉 洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐野 智華子;安宅 学;橋口 原;年吉 洋
