Advanced materials for MEMS.
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复制标题
MEMS 先进材料。
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masanori Muroyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
江刺正喜;吉田慎哉;Masanori Muroyama
