Adsorption and Desorption of Multi-component Organic Compounds on Silicon Surface

Adsorption and Desorption of Multi-component Organic Compounds on Silicon Surface
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多组分有机化合物在硅表面的吸附与解吸

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Clean Technology 17
影响因子:
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通讯作者:
D. Yamaya
D. Yamaya
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Habuka;D. Yamaya

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