栃谷 元: "ECRマイクロ波SF_6プラズマにおける負電荷の拡散過程" 第13回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス. 13. 171-174 (1996)

栃谷 元: "ECRマイクロ波SF_6プラズマにおける負電荷の拡散過程" 第13回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス. 13. 171-174 (1996)
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Hajime Tochiya:“ECR 微波 SF_6 等离子体中的负电荷扩散过程”第 13 届等离子体处理研究组论文集。13. 171-174 (1996)。

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