電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第１報―
電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第１報―
复制标题
利用电场磨料控制技术高效抛光单晶蓝宝石衬底 - 第一篇报告 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
久住孝幸
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
久住孝幸;佐藤安弘;池田洋;赤上陽一;梅原徳次;久住孝幸;久住孝幸
