生津資大, 阿野大輔, 井上尚三, 小寺澤啓司: "X線回折援用引張試験法によるMEMS被覆用多結晶TiN膜の力学特性評価"2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 781-782 (2004)
生津資大, 阿野大輔, 井上尚三, 小寺澤啓司: "X線回折援用引張試験法によるMEMS被覆用多結晶TiN膜の力学特性評価"2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 781-782 (2004)
复制标题
Shihiro Ikutsu、Daisuke Ano、Shozo Inoue、Keiji Koterasawa:“使用 X 射线衍射辅助拉伸测试方法评估 MEMS 涂层用多晶 TiN 薄膜的机械性能”2004 年日本精密工程学会春季会议论文集 781-782。 (2004)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: