Industry-Oriented Precision Nanometrology
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复制标题
面向工业的精密纳米计量学
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
So Ito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wei Gao;Kang-Won Lee;Yuki Shimizu;So Ito
