パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術
パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術
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图案化金刚石CVD成膜技术
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邉純二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大久保誠史;財部 剛;竹下 温;峠 睦;渡邉純二
