Fabrication of Si Nanotube Arrays by Nanoimprint Lithography with Spacer Patterning.
Fabrication of Si Nanotube Arrays by Nanoimprint Lithography with Spacer Patterning.
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通过纳米压印光刻和间隔图案化制造硅纳米管阵列。
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naoki Fukata.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yonglie Sun;Wipakorn Jevasuwan;Naoki Fukata.
