３自由度制御型磁気浮上アクチュエータを用いた精密研磨加工
３自由度制御型磁気浮上アクチュエータを用いた精密研磨加工
复制标题
使用三自由度控制磁悬浮执行器进行精密抛光
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
劉洋，二ノ宮進一，張暁友
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yang Liu;Xiaoyou Zhang;Shinichi Ninomiya;劉洋，二ノ宮進一，張暁友
