Yuko Nakagami: "Microwave Plasma Enhanced CVD of Fluorinated Carbon Thin Films Using Tetrafluoroethylene Gas for Interlayer Dielectric Applications" 3rd International Conference on Reactive Plasmas. 3. 319-320 (1997)
Yuko Nakagami: "Microwave Plasma Enhanced CVD of Fluorinated Carbon Thin Films Using Tetrafluoroethylene Gas for Interlayer Dielectric Applications" 3rd International Conference on Reactive Plasmas. 3. 319-320 (1997)
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Yuko Nakagami：“使用四氟乙烯气体进行层间介电应用的氟化碳薄膜的微波等离子体增强 CVD”第三届反应等离子体国际会议。
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