Hideki Matsumura: "Silicon Nitride produced by catalytic chemical vapor deposition method." J.Appl.Phys.66. 3612-3617 (1989)
Hideki Matsumura: "Silicon Nitride produced by catalytic chemical vapor deposition method." J.Appl.Phys.66. 3612-3617 (1989)
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Hideki Matsumura：“通过催化化学气相沉积法生产氮化硅。”
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