T.Makabe: "Simulation of low pressure RF plasma processing" 4oth ISE Meeting,Extended Abstracts(Kyoto). 1. 479 (1989)
T.Makabe: "Simulation of low pressure RF plasma processing" 4oth ISE Meeting,Extended Abstracts(Kyoto). 1. 479 (1989)
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T.Makabe：“低压射频等离子体处理的模拟”第 4 届 ISE 会议，扩展摘要（京都）。
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