異材スクリーンを用いたアクティブスクリーンプラズマ窒化におけるN2/H2ガス比の影響
異材スクリーンを用いたアクティブスクリーンプラズマ窒化におけるN2/H2ガス比の影響
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N2/H2 气体比例对异种材料屏主动屏等离子渗氮的影响
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松川竜也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西本明生;中澤邦成;松川竜也
