Development of Photoemission-Assisted Plasma Ion Source for Atomic Level Surface Flattening
Development of Photoemission-Assisted Plasma Ion Source for Atomic Level Surface Flattening
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用于原子级表面平坦化的光电子辅助等离子体离子源的开发
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Takakuwa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ajia;Y. Kotanigawa;S. Ogawa;Y. Takakuwa
