Multimodal imaging technology by integrated scanning electron, force, and microwave microscopy and its application to study microscaled capacitors
Multimodal imaging technology by integrated scanning electron, force, and microwave microscopy and its application to study microscaled capacitors
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集成扫描电子、力和微波显微镜的多模态成像技术及其在研究微型电容器中的应用
DOI：
10.1116/1.5006161
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Fatikow
中科院分区：
文献类型：
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作者：
O.C. Haenssler;D. Théron;S. Fatikow
