T.Nakamura,H.Motomura,K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Decomposition and Polymer Deposition in Perfluorocarbon Plasmas : Molecular Orbital Calculations of Excited States of Perfluorocarbons"Japanese Journal of Applied Physics. 40・2A. 847-854 (2001)

T.Nakamura,H.Motomura,K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Decomposition and Polymer Deposition in Perfluorocarbon Plasmas : Molecular Orbital Calculations of Excited States of Perfluorocarbons"Japanese Journal of Applied Physics. 40・2A. 847-854 (2001)
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T.Nakamura、H.Motomura、K.Tachibana:“全氟化碳等离子体中分解和聚合物沉积的量子化学研究:全氟化碳激发态的分子轨道计算”日本应用物理学杂志40・2A(2001)。

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