微傾斜Si(111)基板上3C-SiC(111)薄膜の断面TEM評価
微傾斜Si(111)基板上3C-SiC(111)薄膜の断面TEM評価
复制标题
稍微倾斜的 Si(111) 衬底上 3C-SiC(111) 薄膜的横截面 TEM 评估
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
末光 眞希
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
原本 直樹;長澤 弘幸;伊藤 俊;吹留 博一;末光 眞希
