Raman Spectrum Curve Fitting for Estimating Surface Stress Distribution in Single-Crystal Silicon Microstructure
Raman Spectrum Curve Fitting for Estimating Surface Stress Distribution in Single-Crystal Silicon Microstructure
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用于估计单晶硅微结构表面应力分布的拉曼光谱曲线拟合
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ohtsuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Komatsubara;T. Namazu;Y. Nagai;S. Inoue;N. Naka;S. Kashiwagi;K. Ohtsuki
