Influence of Precursor Purge Time on the Performance of Zno Tfts Fabricated by Atomic Layer Deposition
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DOI：
10.2139/ssrn.4022316
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发表时间：
2022-03
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Xue Chen;Jiaxian Wan;Liwei Ji;Juan Gao;Hao Wu;Chang Liu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xue Chen;Jiaxian Wan;Liwei Ji;Juan Gao;Hao Wu;Chang Liu
