Nucleation and Growth of Voids in Silicon
Nucleation and Growth of Voids in Silicon
复制标题
硅中空洞的成核和生长
DOI：
10.1557/proc-490-77
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Tan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. S. Plekhanov;U. Gösele;T. Tan
