ベータ酸化ガリウムHVPE成長における成長温度および供給VI/III比の影響
ベータ酸化ガリウムHVPE成長における成長温度および供給VI/III比の影響
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生长温度和进料 VI/III 比例对 β 氧化镓 HVPE 生长的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊谷 義直
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤 健;三浦 遼;加茂 崇;竹川 直;村上 尚;熊谷 義直
