表面粗糙度对面向等离子体钨材料溅射的影响
表面粗糙度对面向等离子体钨材料溅射的影响
复制标题
DOI：
10.16568/j.0254-6086.2015.02.014
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
杜丹
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
杨涛;龚学余;胡继文;杜丹
