コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工

コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工
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胶体光刻聚合物板的微加工

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
関実
関実
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
蛭間崇元;鍋澤浩文;人母岳;若林傑;関実

文献摘要

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