形状測定機能を持つナノ加工プローブの研究-加工プローブにおける加工評価実験-
形状測定機能を持つナノ加工プローブの研究-加工プローブにおける加工評価実験-
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具有形状测量功能的纳米探针研究-加工探针的加工评价实验-
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清野 慧
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高 偉;工藤 康人;清野 慧
