竹炭砥石の開発に基づくシリコンウエハの鏡面研磨
竹炭砥石の開発に基づくシリコンウエハの鏡面研磨
复制标题
基于竹炭砂轮开发的硅片镜面抛光
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
萩原親作
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村陽介;萩原親作
