Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target
Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target
复制标题
纯钨靶材低放电功率磁控溅射等离子体的光学研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Suda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T.Matsunaga;T.Ohshima;H.Kawasaki;T.Kaneko;Y.Yagyu;Y.Suda
