集束陽子線描画を用いた印刷用スタンプによる a-IGZO-TFT の作製と評価
集束陽子線描画を用いた印刷用スタンプによる a-IGZO-TFT の作製と評価
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使用聚焦质子束光刻技术使用印模制造和评估 a-IGZO-TFT
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西川 宏之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川村 恵矢;林 秀臣;関 宏範;プッタラクサ ニテイポン;西川 宏之
