Global sensor feedback for automatic nanohandling inside a scanning electron microscope
Global sensor feedback for automatic nanohandling inside a scanning electron microscope
复制标题
用于扫描电子显微镜内自动纳米处理的全局传感器反馈
DOI：
10.1016/b978-008045157-2/50054-7
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Sievers
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sievers
